應用案例
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硅表面鈍化技術采用的化學蒸汽沉淀法是一種全新的涂覆技術。在特制的爐中放置所需處理的部件,導入特殊技術的氣體。主要特點是這種氣體可以滲透到曲折的管道內(nèi)部并提供很薄的均勻涂覆,即使復雜的形狀完成均勻的涂覆。特 點l 化學鈍性l 超高耐腐蝕能力l 耐高溫 韌性好l 涂覆層厚1微米l 適應各法規(guī)分析方法,與特種合金材料相比,大大降低成本應用領域l 石油化工、油氣勘探l 半導體、 航天自動化l 分析技術 、氣體制造l 環(huán)境監(jiān)測采樣l 活性極性強以及強酸、強堿氣體 典型應用l 進樣系統(tǒng):高純度氣體、腐蝕性氣
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