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質(zhì)量流量控制器,流量計/控制器和壓力控制器廣泛應(yīng)用于氣相色譜、分析設(shè)備、材料設(shè)備、生物醫(yī)藥、半導體等領(lǐng)域。 G300C 系列流量控制器可根據(jù)客戶需求定制,更加適用于客戶使用環(huán)境。
21 系列 標準型質(zhì)量流量控制器 層流差壓原理 非抗腐蝕 量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM,優(yōu)于 1 % 的精度,控制范圍廣,優(yōu)于 100 ms 響應(yīng)時間
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用??蓪崿F(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應(yīng)。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,減少客戶成本。